⑴就單一傳感器而言，微型傳感器是指尺寸微小的傳感器，如敏感元件的尺寸從微米級到毫米級、甚至達到納米級，主要采用精密加工、微電子以及微機電系統技術，實現傳感器尺寸的縮小。
⑵就集成的傳感器而言，微型傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
⑶就傳感器系統而言，微型傳感器是指傳感系統中不但包括微型傳感器，還包括微執行器，可以獨立工作，甚至由多個微型傳感器組成傳感器網絡，或者可實現異地聯網。
微型傳感器的特點:
(1)體積小、重量輕
⑵功耗低
⑶性能好
⑷易于批量生產、成本低
⑸便于集成化和多功能化
⑹提高傳感器化智能化水平
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